是指受到電子束激發的惰性氣體和鹵素氣體結合的混合氣體形成的分子向其基態躍遷時發射所產生的激光，通常都在紫外波段。準分子激光氣體是激光發生器的關鍵氣體，包含鹵素元素，并輔助一定比例的稀有氣體。通常的，準分子激光氣體是F2, He, Ne, Kr, Xe的混合物。

準分子激光器以其高光子能量所稱著，準分子激光器站在了尖端工業激光解決方案的最前沿。作為當今最有效、最可靠的脈沖紫外激光技術的代表，準分子激光器有效地推進了諸如半導體、AMOLED平板顯示、薄膜、硅底板加工、有機金屬沉淀、高溫超導、刻蝕、材料研究、汽車制造、生物醫療、光纖、鉆石打標設備及可替代能源等多種成長型工業中的技術革新。